服务简介：多功能X射线光电子能谱仪可以提供有关固体表面和界面的化学信息。可以分析除氢、氦以外的所有元素，包括元素种类及价态。并可以提供测定元素相对含量的半定量分析。

广泛应用于研究聚合物、无机化合物、有机化合物、催化剂、涂层材料、纳米材料、矿石等各种材料。

能分析小至10μm的微小区域；能进行在1nm~数nm深度分辨率下分析到μm量级深度的深度剖面分析

仪器参数:

X射线源： 15kV, 30mA(450W) 清洁的Ag 3d5/2光电子峰，强度单位: cps

XPS成像空间分辨率<3μm

紫外光电子能谱(UPS) 以表面清洁Ag4d在140 emV 分辨率下，灵敏度1,000,000 cps ，He I和 He II比例小于4：1

离子散射能谱(ISS)以表面清洁Au在FWHW<12eV下，灵敏度12,000cps/nA

低能量悬浮离子枪能量范围：50eV~5000eV，Ar离子枪在Ta2O5刻蚀速率40nm/min@4keV，2.2nm/min@500eV

扫描电子显微镜(SEM)场发射电子枪10kV，样品电流5nA下，分辨率<100nm

俄歇电子能谱测量Cu LMM峰在10nA束流，10kV束能，相对能量分辨率0.4%±0.05%下，灵敏度>50,000cps/nA，信噪比500：1

测试温度范围：-150℃~600℃

X射线能谱仪的元素分析范围：除H、He两种元素外的100多种元素（含量在0.1%以上）

测试项目：

1.表面元素定性定量分析

2.表面元素化学状态定性定量分析

3.XPS价电子分析

4.表面平行成像

应用范围：对固体样品的元素成分进行定性、定量或半定量及价态分析。 固体样品表面的组成、化学状态分析，广泛应用于元素分析、多相研究、化合物结构鉴定、富集法微量元素分析、元素价态鉴定。此外在对氧化、腐蚀、摩擦、润滑、燃烧、粘接、催化、包覆等微观机理研究；污染化学、尘埃粒子研究等的环保测定；分子生物化学以及三维剖析如界面及过渡层的研究等方面有所应用。

服务简介：多功能X射线光电子能谱仪可以提供有关固体表面和界面的化学信息。可以分析除氢、氦以外的所有元素，包括元素种类及价态。并可以提供测定元素相对含量的半定量分析。

广泛应用于研究聚合物、无机化合物、有机化合物、催化剂、涂层材料、纳米材料、矿石等各种材料。

能分析小至10μm的微小区域；能进行在1nm~数nm深度分辨率下分析到μm量级深度的深度剖面分析

仪器参数:

X射线源： 15kV, 30mA(450W) 清洁的Ag 3d5/2光电子峰，强度单位: cps

XPS成像空间分辨率<3μm

紫外光电子能谱(UPS) 以表面清洁Ag4d在140 emV 分辨率下，灵敏度1,000,000 cps ，He I和 He II比例小于4：1

离子散射能谱(ISS)以表面清洁Au在FWHW<12eV下，灵敏度12,000cps/nA

低能量悬浮离子枪能量范围：50eV~5000eV，Ar离子枪在Ta2O5刻蚀速率40nm/min@4keV，2.2nm/min@500eV

扫描电子显微镜(SEM)场发射电子枪10kV，样品电流5nA下，分辨率<100nm

俄歇电子能谱测量Cu LMM峰在10nA束流，10kV束能，相对能量分辨率0.4%±0.05%下，灵敏度>50,000cps/nA，信噪比500：1

测试温度范围：-150℃~600℃

X射线能谱仪的元素分析范围：除H、He两种元素外的100多种元素（含量在0.1%以上）

测试项目：

1.表面元素定性定量分析

2.表面元素化学状态定性定量分析

3.XPS价电子分析

4.表面平行成像

应用范围：对固体样品的元素成分进行定性、定量或半定量及价态分析。 固体样品表面的组成、化学状态分析，广泛应用于元素分析、多相研究、化合物结构鉴定、富集法微量元素分析、元素价态鉴定。此外在对氧化、腐蚀、摩擦、润滑、燃烧、粘接、催化、包覆等微观机理研究；污染化学、尘埃粒子研究等的环保测定；分子生物化学以及三维剖析如界面及过渡层的研究等方面有所应用。

(1)粉末、大颗粒、小圆棒：体积大于0.2ml;如果需要压片时(有利于做定量分析)，送样量(体积)应适当增加到0.75-1ml；

(2)薄膜、片状、块体：长X 宽尺寸在~6mmX6mm到10mm X10mm以内;厚度不大于3mm。

3)UPS测试样品要求：非绝缘样品，粉末样品，高<3mm,长高7-10mm。